Étude de cas : Élimination des azoles des eaux usées issues de la fabrication de semi-conducteurs

Contexte : La réutilisation de l’eau dans la production de semi-conducteurs

Les fonderies de semi-conducteurs et les fabricants de dispositifs intégrés (IDM) sont de grands consommateurs d’eau. D’énormes quantités d’eau sont utilisées à des fins diverses, allant du nettoyage des plaquettes entre les différentes étapes de fabrication à la création d’un climat humide dans une salle blanche.

La réutilisation et la récupération de l’eau sont largement pratiquées en raison des coûts élevés liés au traitement de l’eau ultra-pure. Le gain d’efficacité résulte du fait que l’eau n’est traitée que dans la mesure nécessaire pour l’étape suivante du processus. Il est courant de réutiliser l’eau dans une partie du processus de production qui nécessite une eau moins pure que lors de sa première utilisation. Par exemple, l’eau qui a servi au rinçage peut ensuite être utilisée pour le refroidissement.

Comment se passe la collaboration avec Arvia ?

« Arvia s’est montrée intéressée, à l’écoute et très compétente dans le cadre de notre projet de traitement des résidus d’API présents dans nos déchets. Sa technologie est innovante et a fait ses preuves pour résoudre notre problème de déchets. »

Entreprise pharmaceutique, États-Unis

Problème : élimination des azoles de l’eau

Une entreprise leader mondial dans le secteur de la fabrication de semi-conducteurs s’est adressée à nous car ses procédés de traitement de l’eau existants ne parvenaient pas à éliminer les azoles présents dans l’eau.

Le client devait recourir à l’incinération pour éliminer ces eaux dangereuses, ce qui était non seulement très coûteux, mais allait également à l’encontre de sa politique environnementale. À l’instar de nombreux fabricants de semi-conducteurs et fonderies, il cherchait à accroître la réutilisation des eaux non utilisées dans les processus de fabrication.

De nouvelles technologies dans le domaine de l’eau sont nécessaires

Les technologies de traitement de l’eau existantes ne permettaient pas d’éliminer les azoles jusqu’aux niveaux requis. Il était évident que l’élimination des azoles de l’eau nécessiterait un autre type de traitement de l’eau.

Notre système Nyex-e est conçu pour oxyder les produits chimiques organiques dangereux, tels que les inhibiteurs de corrosion ou les azoles. Nous avons réalisé un essai en laboratoire pour le vérifier, et les résultats ont parlé d’eux-mêmes.

Élimination des azoles de l’eau – Les résultats

Grâce à notre procédé de traitement de l’eau Nyex-e, nous avons dépassé l’objectif de traitement fixé à >85 % du pyrazole présent dans l’eau, ce qui permet d’atteindre >Efficacité de 99 %. La consommation d’énergie s’élevait à environ 30 kWh/m³.

Plus précisément, les concentrations d’application de tous les azoles testés étaient les suivantes :

5-méthyl-1H-benzotriazole – élimination supérieure à 99 %
3-amino-1,2,4-triazole – élimination supérieure à 99 %
benzotriazole – élimination à 90 %, jusqu’à 0,75 µg/L
Pyrazole – élimination supérieure à 99 %

Notre procédé de traitement de l’eau est utilisé par de nombreux secteurs d’activité